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產品名稱：緊湊型紫外線臭氧清洗機
產品型號：CY-CU
產品廠商：成越科儀
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簡單介紹：

緊湊型紫外線臭氧清洗機用于清潔所有類型的晶體基板，以低成本實現更好的薄膜質量。此外，緊湊型紫外線臭氧清洗機是去除和剝離光刻膠、改善表面潤濕性、清潔SEM和TEM樣品、UV聚合物活化、組裝等的理想工具。

詳情介紹：

緊湊型紫外線臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的干式清洗技術，對清洗表面沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈，產生波長185nm和254nm的紫外線，185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的臭氧分子O3，254nm的光同時激發清洗表面的有機分子，使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短，且同時也被254nm的光分解，因此可調節樣品臺到燈管的距離來優化性能。

緊湊型紫外線臭氧清洗機技術參數：

輸入功率

AC 110V or AC 208~240V( 可選的)

紫外燈

?     固體金屬雙波汞燈

?     紫外燈功率：zui大55W。

?     波長：254nm和185nm

?     紫外燈使用壽命：2500小時

?     紫外線照射面積：100×100 mm（4”×4”）

?     峰值紫外線強度：4.6毫瓦/平方厘米。

腔室和樣品臺

?     外形尺寸：9 1/2”×7 7/8”×6”

?     抽屜尺寸：5 1/4”×5 1/4”×1”

?     抽屜到燈的距離：1 1/16“

?     從基座到燈的距離：5/16“

?     硼硅酸鹽玻璃基座：4”×4”×3/4”

? 18號鋼制底盤和蓋板，粉末涂層

?     總重量：9磅

合規

CE認證

保證

一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室不保修)

環境要求

? 只在室內使用;海拔高度可達5,562英尺;

?    溫度范圍41-104華氏度;

?    zui高相對濕度80％，高達87 華氏度線性降低至50％相對濕度，華氏104度;

?    主電源波動不超過額定電壓的10％;過壓類別II;

?    污染等級2;臭氧水平（環境）測量<45 ppb。

Application

?    清潔SPT，AFM**和表面的分子污染

?    固化UV-粘合劑

? SAM表面的紫外光圖案化

?    氧化PDMS

?    蝕刻，圖案，銳化

?    清潔MEMS器件

?    清潔襯底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶體襯底

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豫公網安備 41019702002438號

輸入功率	AC 110V or AC 208~240V( 可選的)
紫外燈	? 固體金屬雙波汞燈 ? 紫外燈功率：zui大55W。 ? 波長：254nm和185nm ? 紫外燈使用壽命：2500小時 ? 紫外線照射面積：100×100 mm（4”×4”） ? 峰值紫外線強度：4.6毫瓦/平方厘米。
腔室和樣品臺	? 外形尺寸：9 1/2”×7 7/8”×6” ? 抽屜尺寸：5 1/4”×5 1/4”×1” ? 抽屜到燈的距離：1 1/16“ ? 從基座到燈的距離：5/16“ ? 硼硅酸鹽玻璃基座：4”×4”×3/4” ? 18號鋼制底盤和蓋板，粉末涂層 ? 總重量：9磅
合規	CE認證
保證	一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室不保修)
環境要求	? 只在室內使用;海拔高度可達5,562英尺; ? 溫度范圍41-104華氏度; ? zui高相對濕度80％，高達87 華氏度線性降低至50％相對濕度，華氏104度; ? 主電源波動不超過額定電壓的10％;過壓類別II; ? 污染等級2;臭氧水平（環境）測量<45 ppb。
Application	? 清潔SPT，AFM**和表面的分子污染 ? 固化UV-粘合劑 ? SAM表面的紫外光圖案化 ? 氧化PDMS ? 蝕刻，圖案，銳化 ? 清潔MEMS器件 ? 清潔襯底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶體襯底

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產品名稱：緊湊型紫外線臭氧清洗機

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