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PE-HPCVD等離子增強混合物理化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
本產(chǎn)品是一款1200℃等離子增強混合物理化學(xué)氣相沉積（PE-HPCVD)雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)。該設(shè)備包括一臺雙溫區(qū)管式爐，一套鎢絲蒸發(fā)源，一套等離子發(fā)生裝置以及一套質(zhì)量流量計系統(tǒng)。其工作原理是通過蒸發(fā)源將反應(yīng)物在進(jìn)氣端蒸發(fā)后通過氣流載入管式爐溫區(qū)內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)，同時通過等離子增強促進(jìn)反應(yīng)的發(fā)生，適用于無機復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆,如制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等。
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雙溫區(qū)管式爐 |
產(chǎn)品型號 |
CY-PE-HPCVD-50R-1100-Q |
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爐管材質(zhì) |
高純石英 |
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爐管直徑 |
50mm |
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爐管長度 |
1200mm |
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爐膛長度 |
440mm |
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加熱區(qū)長 |
200mm+200mm |
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工作溫度 |
0～1100℃ |
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控溫精度 |
±1℃ |
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控溫模式 |
30段或50段程序控溫 |
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顯示模式 |
高清全彩LCD觸控屏 |
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密封方式 |
304不銹鋼真空法蘭 |
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供電電源 |
AC:220V 50/60Hz 2.5kW |
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RF輸出系統(tǒng) |
功率范圍 |
0~300W可調(diào) |
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工作頻率 |
13.56MHz+0.005% |
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工作模式 |
連續(xù)輸出 |
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匹配阻抗模式 |
能夠匹配，起輝均勻布滿爐管 |
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功率穩(wěn)定度 |
≤2W |
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正常工作反射功率 |
≤3W |
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放大反射功率 |
≤70W |
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諧波分量 |
≤-50dBc |
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整機效率 |
≥70% |
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功率因素 |
≥90% |
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供電電壓/頻率 |
單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz |
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控制模式 |
內(nèi)控/PLC 模擬量/RS232/485通訊 |
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電源保護(hù)設(shè)置 |
DC過流保護(hù)，功放過溫保護(hù)，反射功率保護(hù) |
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冷卻方式 |
強制風(fēng)冷 |
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起輝長度 |
在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿爐管 |
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蒸發(fā)舟 |
工作溫度 |
1300℃ |
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蒸發(fā)源 |
鎢絲籃,可選配錐形氧化鋁坩堝 |
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熱電偶 |
S型熱電偶 |
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工作電流 |
≤30A |
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*大功率 |
500W |
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供氣系統(tǒng) |
流量計 |
四路質(zhì)子流量計 |
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流量范圍 |
MFC1量程：0~200sccm MFC2量程：0~200sccm MFC3量程：0~500sccm MFC4量程：0~500sccm 分別對應(yīng)氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、 |
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測量精度 |
±1.5%F.S |
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重復(fù)精度 |
±0.2%FS |
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線性精度 |
±1%F.S. |
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響應(yīng)時間 |
≤4s |
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工作壓力 |
-0.15Mpa~0.15Mpa |
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流量控制 |
液晶觸摸屏控制，數(shù)字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制 |
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進(jìn)氣接口 |
可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 |
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出氣接口 |
可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 |
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連接方式 |
雙卡套接頭 |
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工作溫度 |
5~45℃ |
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氣體預(yù)混 |
配氣體預(yù)混裝置 |
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真空系統(tǒng)
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產(chǎn)品型號 |
CY-GZK103-A |
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分子泵 |
渦輪分子泵 |
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前極泵 |
雙極旋片泵 |
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抽氣速率 |
分子泵：600L/S |
綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達(dá)：5×10E-3Pa |
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旋片泵：1.1L/S |
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極限真空 |
5×10E-4Pa |
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抽氣接口 |
KF40 |
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排氣接口 |
KF16 |
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真空測量 |
復(fù)合真空計 |
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